Service サービス内容

• 空間差圧測定

  空間差圧はクリーンルームにとって「持ち込まない」「堆積させない」「排除する」を叶え清浄な状態を保つために重要な項目です。

  規定条件を満たしているかを確認するための空間差圧の測定を行っています。

• 風量・風速測定

  クリーンルーム内を清浄な環境に保つためには、塵埃をためず、即座に排除する空気循環には風速が大きく影響するため、空気循環が必要になります。

  クリーンルームへの給気量が、規定されている条件に適合しているかどうか、風量の測定を行っています。

• 気流可視化測定

  クリーンルームの環境を改善するためには、原因となるゴミ・異物の発生源を特定することが重要です。しかし「気流」によって運ばれてくるゴミについては発生源の特定が難しいのが実情です。

  当社では「気流」を可視化して気流方向を把握し、規定条件を満たしているかを確認する気流可視化測定を行っています。

• HEPAリーク測定

  クリーンルーム内に清浄空気を供給する吹き出し口となる天井や壁面のフィルタに漏れがあると、どんなに優秀な設計のクリーンルームであろうと、その性能を発揮することはできません。当社では、HEPAフィルタの漏れ及び、支持枠の接合部、支持枠と取付け枠の接合部からシール漏れの有無を測定しています。

• 浮遊微粒子濃度測定

  クリーンルームの空気清浄度が清浄度クラスに規定されている条件に適合しているかどうかを確認するため、パーティクルカウンターを用いて浮遊微粒子の濃度を測定しています。