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エアフィルタの種類

 名称粒子径空気表示方法と捕集効率
粗塵用エアフィルタ~5μm以上重量法 50~90% 程度
中性能エアフィルタ~1μm以上比色法 95% 以下程度
HEPAフィルタ0.3μm計数法 99.97~99.999%
ULPAフィルタ0.1μm計数法 99.9995% 以上

フィルタを選定する際には対象粒子径と捕集効率以外にも、圧力損失、処理風量、寿命、アウトガス量、耐薬品性などが考慮されます。

外気処理用には粗塵用、中性能、HEPAフィルタが使われ、クリーンルーム循環系やクリーンルーム機器には中性能、HEPA,ULPAフィルタが使用されます。

微粒子径と適応フィルタ

 

 

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