フィルタを選定する際には対象粒子径と捕集効率以外にも、圧力損失、処理風量、寿命、アウトガス量、耐薬品性などが考慮されます。

外気処理用には粗塵用、中性能、HEPAフィルタが使われ、クリーンルーム循環系やクリーンルーム機器には中性能、HEPA,ULPAフィルタが使用されます。