クリーンルーム測定

クリーンルームと外気との間、及びクリーンルーム内の各部屋間の差圧が、規定されている条件に適合しているかどうかを確認するため、差圧を測定し、評価することを目的とします。

クリーンルームへの給気量が、規定されている条件に適合しているかどうかを確認するため、風量を測定し、評価することを目的とします。

圧力の異なる空間の接する面及びクリーンルーム内での気流方向が、規定されている条件に適合しているかどうかを確認するため、気流を可視化して気流方向を確認し、評価することを目的とします。

フィルタ面からのリーク及び、フィルタと支持枠の接合部、支持枠と取付け枠の接合部からシール漏れの有無を測定し、評価することを目的とします。

クリーンルームへの給気量が、規定されている条件に適合しているかどうかを確認するため、風速を測定して風量を算出し、評価することを目的とします。