①測定位置の確定

　測定点数の最少値を求める。

NL＝√A

　NL：測定点数の最少値（整数表示）

　A:クリーンルームなどの面積（㎡）

②測定点における１回当たりの最少サンプリング空気量の決定

Vｓ＝20/Cn

　Vs：１回当たりの空気量の最少値（㎥）

　Cn：当該仕様クラスにおける最大対象粒径に対する濃度上限値（個/㎥）

　20：粒子濃度がクラス上限値の場合に、計数が期待される粒子数（個）

　・サンプリング吸引端は上流を向けておく。

　・サンプリング時間は最少１分間とする。

　・サンプリング空気量は２×10^-3㎥を満たす。

　・測定点が１点の場合、その測定点で３回以上サンプリングする。

③各測定点における平均粒子濃度

　・各測定点における局所平均粒子濃度

④95％上側信頼限界（UCL)の計算

　・測定点が２以上９以下の場合、後述の手順に従い、前述③で求めた各測定点の平均粒子濃度より、平均の全平均、標準偏差、及び95％上側信頼限界を計算する。

　測定点が１点の場合、及び測定点が9点を超える場合、95％上側信頼限界の計算は不要。

95％UCL=平均の全平均＋ｔ(m-1,0.95)(s/√ｍ）

　(ｔ(m-1,0.95)はスチューデントのｔ分布に基づき係数表を使用）