クリーンルームの空気清浄度規格は、1963 年、⽶国連邦規格（FED-STD-209）として初めて制定されました。

⽶国連邦規格では、0.5μm 粒⼦の 1 ⽴法フィート（1ft3 ）中の粒⼦数を規定しており、「クラス 100」とは、 1ft3 中に 0.5μm の粒⼦が 100 個以内である事を意味します。 

しかし現在、米国連邦規格はISO14644-1 の制定に伴い 2001 年に廃⽌され、国際基準が設けられたことにより各国標準の規格規定が整いました。

 日本では未だクラス100やクラス1000（米国連邦規格）で呼ぶケースがありますが、ISO 規格に慣れていく必要があります。

ISO 14644では、浮遊微小粒子のみを対象としており、0.1μm～5μmの粒子だけを基に分類をしています。その分類はISOクラスNとして示され、クラス１～クラス９の範囲で定義されています。それぞれのクラスにおける微小粒子の最大濃度は、式（１）で定義されています。それを表にしたものが、上記表になります。
 

Cn：みなし粒度以上の浮遊微小粒子の１立米あたりの最大許容濃度

N：ISO分類（１～９）